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  • 产品名称：电热水洗式废气处理设备
  • 规格参数：GDO-1861WA
    产品特点及简介
    设备型号:  GDO-1861WA
    设备处理量：400SLM
    设备反应温度：850 ℃
    设备尺寸：   150(D) X 130(W) X 200(H)
    设备重量：400 KG
    MTBF > 8760(hours)
    MTTR < 1(hour)
    设备处理气体种类： SiH4.  PH3.  B2H6. CL2.  HBr .NH3 .  Cl2.   HCl.  HBr.  SO2.   NO2等
    常用制程：   MOCVD     PECVD    ETCH   IMPLANT   DIFFSION