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废气处理设备
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产品名称:
燃烧式废气处理设备
规格参数:
GDO-1800
产品特点及简介
设备型号: GDO-1800
设备处理量:3000SLM
设备反应温度:1350
℃
设备尺寸:
150(D) X 130(W) X 200(H)
设备重量:1000 KG
MTBF > 8760(hours)
MTTR < 1(hour)
设备处理气体种类:CF4 . SF6 . BF3. C2F6. SiH4. PH3. B2H6. CL2. HBr
常用制程:
MOCVD PECVD ETCH IMPLANT DIFFSION
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地址:浦东新区康桥工业园区康意路499-519号A栋 Tel:021-58125760/61/62/63/64 Fax:021-58125780