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  • 产品名称：燃烧式废气处理设备
  • 规格参数：GDO-1800
    产品特点及简介
    设备型号:  GDO-1800
    设备处理量：3000SLM
    设备反应温度：1350 ℃
    设备尺寸：   150(D) X 130(W) X 200(H)
    设备重量：1000 KG
    MTBF > 8760(hours)
    MTTR < 1(hour)
    设备处理气体种类：CF4 . SF6 . BF3. C2F6. SiH4.  PH3.  B2H6. CL2.  HBr
    常用制程：   MOCVD     PECVD    ETCH   IMPLANT   DIFFSION